Udostępnij pocztą e-mail
Nie wszystkie niezbędne pola zostały wypełnione
wyślij e-mail

Oszczędzające miejsce i niewymagające konserwacji rozwiązania w zakresie temperatury dla systemów powlekania CVD

Opracowywanie i produkcja systemów powlekania CVD są złożonymi procesami, które wymagają specjalnych kompetencji. Dotyczy to w szczególności chłodzenia. Kluczowe jest w takim przypadku współgranie czujników i siłowników w systemach chłodzenia danej instalacji. Firma Bürkert może zaoferować konkretne rozwiązanie chłodnicze dopasowane do indywidualnych potrzeb klienta – dzięki dużemu wyborowi komponentów i wieloletniemu doświadczeniu. Jako kompetentny partner w dziedzinie armatury jesteśmy do dyspozycji klienta – i to od etapu planowania po oddanie systemu do użytku i jego konserwację.

Ograniczona przestrzeń i trudna konserwacja maszyn w systemach powlekania CVD

Systemy powlekania CVD muszą zapewniać najwyższą wydajność, aby móc pracować w sposób ekonomiczny. Decydującą rolę odgrywa w tym przypadku efektywne chłodzenie. Dzieje się tak, ponieważ powłoka CVD powinna się osadzać wyłącznie na substracie, nie zaś w reaktorze.
Ogólnie rzecz ujmując, system powlekania powinien być tak kompaktowy, jak to tylko możliwe. Dlatego w tradycyjnych rozwiązaniach wymiana komponentów jest utrudniona ze względu na ograniczoną przestrzeń. Często aby dostać się do części eksploatacyjnej, konieczne jest kosztowne demontowanie całych podsystemów. Ponadto zakup części, które należy wymienić, trwa nieraz bardzo długo.


Produkcja krzemu monokrystalicznego

Krzem monokrystaliczny

Pocięta płytka (wafer)

Płyn chłodzący

Reaktor

Rozwiązania tradycyjne

Reaktor

Wymiennik ciepła

Wszechstronne i niewymagające konserwacji rozwiązania systemowe z myślą o konkretnych zadaniach chłodniczych

Firma Bürkert wspiera swoich klientów doświadczeniem w zakresie technologii płynów – przy pomocy zoptymalizowanego i indywidualnie dostosowanego rozwiązania w zakresie chłodzenia do systemów separacji gazów. Połączenie zoptymalizowanych pod względem przestrzennym, spawanych lub skrawanych rozwiązań blokowych z wysokiej jakości łącznikami ze stali nierdzewnej daje w rezultacie kompaktowe rozwiązania w zakresie płynów, które są idealnie dostosowane do potrzeb klienta. Sprawdzona i niezawodna technologia firmy Bürkert charakteryzuje się bardzo wysoką żywotnością. Zwiększa to niezawodność procesu i sprawia, że konserwacja staje się niemal zbędna.

Zoptymalizowane pod względem przestrzennym, spawane lub skrawane rozwiązania blokowe

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

 

Zalety rozwiązań systemowych firmy Bürkert:

 

indywidualne bloki armaturowe zapewniające minimalne czasy przestoju

Rozwiązanie Bürkert – w zależności od potrzeb klienta – integruje dużą liczbę komponentów w centralnym bloku armaturowym lub w kilku blokach armaturowych. Dostosowujemy nasze rozwiązania systemowe do wymagań przestrzennych, wybranego zakresu funkcji, koncepcji konserwacji i danej infrastruktury komunikacji cyfrowej.

Rozwiązania systemowe firmy Bürkert w 100% dopasowujemy do potrzeb klienta

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Porównanie czasu montażu tradycyjnego rozwiązania rurowego z rozwiązaniem systemowym firmy Bürkert

Na tym przykładzie i na podstawie odpowiednich obliczeń pokazujemy, ile czasu potrzebnego do instalacji systemu można zaoszczędzić dzięki rozwiązaniu firmy Bürkert u określonego dostawcy komponentów. W myśl motta „czas to pieniądz” skrócone czasy instalacji oznaczają ogromne oszczędności.

Rozwiązanie konwencjonalne vs. rozwiązanie firmy Bürkert

Konwencjonalne rozwiązanie, tj. potrójny blok
Montaż jednoczęściowy z łączników rurowych, tj: 4 trójniki, 2 kolanka rurowe, 12 podwójne złączki wkrętne, 3 zawory mufowe, 8 montaż śrubunków, ustawianie komponentów.
Podstawa obliczeń:
48 min dla gwintów stożkowych z uszczelnieniem cieczowym, 2 min na połączenie gwintowe w przypadku 24 gwintów, 8 min na 4 śruby uchwytu montażowego.
rozwiązanie firmy Bürkert
Czas instalacji bloku zaworowego składającego się z: 3 obudów zaworów, 8 śrubunków ze stali nierdzewnej, 2 montaż zaślepek.
Podstawa obliczeń:
6 min na 3 obudowy zaworów, 8 min na 8 śrubunków ze stali nierdzewnej, 4 min na instalację 2 zaślepek.
Czas instalacji skraca się o ok. 38 minut na jednostkę.
Czas instalacji jest zatem krótszy o 2/3.

Konwencjonalne rozwiązanie, tj. potrójny blok, w porównaniu z rozwiązaniem firmy Bürkert: Czas instalacji skraca się o ok. 38 minut na jednostkę. Czas instalacji jest zatem krótszy o 2/3.