Udostępnij pocztą e-mail
Nie wszystkie niezbędne pola zostały wypełnione
wyślij e-mail

Czujnik CMOS obejściowy

Pomiar danych następuje bezpośrednio w kanale obejściowym.

Element przepływu laminarnego w kanale głównym wytwarza niewielki spadek ciśnienia, który tłoczy niewielką część przepływu całkowitego przez kanał obejściowy. Osadzony tam czujnik dokonuje pomiaru przepływu masowego bezpośrednio jak różnicę temperatur. Pomiar następuje tutaj w specjalnie ukształtowanym kanale przepływu, którego ścianka w jednym miejscu zawiera chip krzemowy z wytrawioną membraną. Na tej membranie w technologii CMOSens® umieszczony jest opornik grzejny oraz symetrycznie do niego dwa czujniki temperatury w kierunku przepływu i w kierunku przeciwnym do przepływu. Gdy opornik grzejny zasilany jest stałym napięciem, napięcie różnicowe czujników temperatury stanowi wymiar przepływu masowego gazu przepływającego w kanale nad chipem.

Schemat funkcjonalny czujnika obejściowego w technologii CMOS-Sens (przekrój kanału obejściowego)

Moja lista do porównania